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等離子清洗機

更新時間:2025-03-04

簡要描述:

等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。

型號:Z5KQX廠商性質:生產廠家瀏覽量:146
品牌ZKAB/中科奧博產地類別國產
應用領域環保,化工,生物產業,地礦,航天

等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。

主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

該清洗機內置高純石英倉體,采用了新型的電極結構設計和固態電源技術,使其有效容積增大,不同真空 氣體環境下容易匹配,且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作,特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。

 

  

設備型號

Z5KQX

S2DQX

控制方式

7寸觸摸屏人機界面

7寸觸摸屏人機界面

供電電源

AC220VAC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

500W

150W

匹配方式

自動匹配

手動匹配

清洗頻率

40KHz

13.56MHz

耦合方式

電容耦合

工作真空

≤30Pa

≤50Pa

腔體材質

高純石英

腔體容積

5L(內徑Φ152mmX深度280mm)

2L(內徑Φ110mmX深度220mm)

觀察窗內徑

Φ50

Φ50

氣體流量

0-50ml/min(熱式質量流量傳感器X2個)

真空計量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計)

過程控制

自動切換

手動匹配自動切換

清洗時間

自動開關

開蓋方式

鉸鏈側開式法蘭

外形尺寸

450*450*250mm

450*450*360mm

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強制風冷

標配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。





 

 

 

 


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